薄膜類型

薄膜材質

基材

薄膜特性及應用

金屬薄膜

Cr

AI、Zn

Pt

Ni

Au,Cu、AI

P、Au

Au、W、Ti、Ta

Ag、Au、AI、Pt

鋼，軟鋼

鈦合金、高碳鋼、低碳鋼

鈦合金

硬玻璃

塑料

鎳、鉻鎳鐵合金

鋼、不銹鋼

硅

抗磨損（機械部件）

防腐（飛機、船舶、汽車）

抗氧化、抗疲勞

耐磨

增加反射性、裝飾性

光滑的

耐熱性（排氣管、汽車、飛機發動機）

電觸點、引線

合金

AI Bronze

Co-Cr-AI-Y

不銹鋼

中高碳鋼

鎳合金、高溫合金

塑料

潤滑（高速旋轉部件）

抗氧化

裝飾

非金屬

B

C

鈦

硅、鐵、鋁、玻璃

耐磨

防腐蝕

化合物

化合物TiN

AIN

CrN

SI3N4

TiC

各類鋼材

Mo

AI

Mo

Mo

防腐、防磨損（機械雜工、工具）

抗氧化

耐磨

抗氧化

抗磨損（超硬工具）